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英文名称：Bis(trimethylsilyl) malonate

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产品名称：Trimethylsilyl acetate 纯度：95%

CAS号：275-27-

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基本信息
属性
计算化学
参考文献
安全信息

英文名称

Bis(trimethylsilyl) malonate

英文别称

Malonic Acid Bis(trimethylsilyl) Ester

中文别称

马来酸双(三甲硅烷)酯

Smiles Code

O=C(O[Si](C)(C)C)CC(O[Si](C)(C)C)=O

分子式

C₉H₂OSi₂

纯度

96%

双（三甲基甲硅烷基）丙二酸酯是 HfO2 和 ZrO2 薄膜的金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 的前体。在三乙胺和镁盐或锂盐存在下，与酰氯和酰基碳酸酯发生酰化反应，生成β-酮酸或甲基酮。

展开

52.6

[1]. Ramasamy Pothiraja, et al. Monomeric malonate precursors for the MOCVD of HfO2 and ZrO2 thin films. Dalton Trans. 29 Jan 28:():65-6.

P21-P2-P2-P21-P22-P2-P28-P7+P78-P51

GHS2

272

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参考文献： Jueschke, Ralf Sartori, Peter Zeitschrift fur Naturforschung - Section B Journal of Chemical Sciences, 1996 , vol. 51, # 12 p. 1691 - 17

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