Tantalum nitride
:
纯度:98%
CAS:
英文名称:Tantalum nitride
英文别称
tantalum(+5) cation
中文别称
, 99.5% (METALS BASIS)
用于在铜或其他导电金属与电介质绝缘膜(如热氧化物)之间形成阻挡层或胶合层。这些薄膜在集成电路制造过程中沉积在硅晶片上,以制造薄膜表面贴装电阻器,并具有其他电子应用。
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P26-P264-P27-P27-P28-P32+P352-P34+P34-P35+P35+P338-P33-P362+P364-P43+P233-P45-P5
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